![何謂thermal budget](https://host.easylife.tw/pics/author/yohnu1/201803/Font/first.png)
熱積存(ThermalBudget).•在高溫下摻雜原子快速的擴散.D=D.0exp(–E.A./kT)...•較佳的熱積存(Thermalbudget)控制.較佳的晶圓對晶圓(WTW)均勻性控制.•較佳的 ...,何谓蚀刻(Etch)?.ETCH何谓蚀刻(Etch)?答:将形成在晶圆表面上的...Ans(1)Theissueofshallowjunction:lowe...
閘極蝕刻與鰭式結構對於場效電晶體特性 ...
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控制其熱預算(thermalbudget),熱預算正比於加熱溫度(T)與加熱時間(t),當離子所.需的加熱溫度較高時,會同時降低其加熱時間。最初退火是使用爐管(furnace)升溫 ...
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